中频真空镀膜设备由于频率高电流大，电流在导体流动时有一个集肤效应，电荷会聚集在电导物的表面积聚，这样会使得电导发热。这时必须进行降温冷却，方法是对中孔管作为导体的中间通入冷冻水。另外真空镀膜设备的圆柱靶也要使用冷冻水进行冷却，因为磁控溅射靶在发射时，会产生高温会使射枪变形，所以它设有一个夹套，可以通入冷冻水冷却射枪。因此，在应用中，为真空镀膜机配置可以产生冷冻水的冷水机设备，是可以使达到高精度、高效率控制温度的目的。
冷水机是一种使水冷却降温的设备，能提供恒温、恒流、恒压的冷冻水。其工作原理是冷水机与需冷却设备连接之后，组成了一个水循环系统。首先，通过冷水机制冷系统将水冷却降温，再由水泵将降温后的冷冻水送入需冷却的设备，由冷冻水在设备内将其产生的热量带走后温度会升高，再回流到冷水机内，如此循环，便可达到设备冷却的作用。冷却水温可根据要求作自动调节。
冷水机设有独立的水循环制冷降温系统，冷冻水出水温度不会受气温及环境的影响，水温在5℃ ～30℃ 范围内调节控制，因而可以达到高精度、高效率控制温度的目的，所以使用冷水机能有效的控制真空镀膜机的工作温度，以保证镀件的高质量。相比较下，使用自然水和冷却水塔散热都不可避免地受到自然气温的影响，而且此方式控制是极不稳定的。
